不锈钢真空反应罐，结构合理，坚固耐用；真空管路采用不锈钢连节，方便维护及保养。
1.2米大直径真空反应罐，单次镀膜数量多, 能满足大型工件的镀膜需求。
侧开式门设计便于取放产品与腔体清洁等维护作业。
反应罐内置转盘机构使产品在镀膜过程中转动，镀层更均匀。
使用数位LED真空计显示工作真空度。
操作简易，可依实际需求变换自动 /手动操作模式。
红外线加热圈，加温速度快。
采用高精度温控装置多段控温，温控精确。
定时加热、超温报警和自动停止加热等保护功能
自诊功能和各种故障报警。
运用范围
真空气相沉积设备是一种用于电子产品防水保护的镀膜设备。工作时把含有构成薄膜元素的化合物（长链性高分子材料，一般为派瑞林Parylene）、单质气体经过升华、热解后进入放置产品的真空反应室，借助空间气相化学反应, 在产品表面上沉积生成0.1-100um的厚度均匀，无应力、优异的电绝缘性和防护性、防潮、防霉、防腐、防盐雾的薄膜涂层。
广泛应用于：航空航天、电路板、LED 、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵文物等领域产品的防水封装与保护工艺中。
产品规格
设备总尺寸 ( 宽度 , 深度 , 高度 ) / 重量 | 3000 mm x 1420 mm x 1620mm |
反应罐体外径 | ø1210 mm x1240 mm |
反应罐罐口尺寸 | 890 mm x1200 mm |
输入电压 | 三相 380 VAC / 50 Hz |
设备最大功率 | 15 Kw |
温控分区 | 6 |
分解炉温控范围 | 室温至700℃ |
升华炉温控范围 | 室温到150℃ |
原料门温控范围 | 室温到250℃ |
制冷压缩机功率 | 1000 W |
制冷量 | 887 W |
最低制冷温度 | -90℃ |
真空泵型号 | 2RH 090C |
真空泵抽气速率 | 90 m³ |
最大真空压力 | ≤ 5 Pa |
真空泵电机功率 | 3.7 KW (三相380VAC) |
真空泵电机转速 | 1440 R/Min |
控制系统 | 10 ”人机界面，PLC 控制 |
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